超純水制備的工藝流程主要包括以下幾個步驟：

原水處理：原水可以是自來水、普通蒸餾水或普通去離子水。
預(yù)處理系統(tǒng)：包括原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。
雙級反滲透系統(tǒng)：通過保安過濾器、RO高壓泵和反滲透系統(tǒng)，反滲透膜可以濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。
EDI系統(tǒng)：通過除去電解質(zhì)（包括弱電解質(zhì)）的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
拋光樹脂：使用無化學(xué)析出的核子級樹脂去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達(dá)到18MΩ·cm以上。
終端超濾：有效地去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌、熱源和有機物，確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。
這一系列步驟確保了超純水的制備，其中EDI超純水設(shè)備在行業(yè)內(nèi)競爭非常激烈，國產(chǎn)超純水設(shè)備同樣能夠做到出水質(zhì)量的高純度。滲透/電去離子（RO/EDI）集成膜技術(shù)是近年來迅速發(fā)展成熟，并得到大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的最新一代超純水制造技術(shù)，在國際上已逐漸成為純水技術(shù)的主流。