分享
臺碩檢測設備（蘇州）有限公司
聯(lián)系人：李經理
手機號：186-1668-7110 18616687110
網址：http://www.taso1.com/
郵箱：shasha.li-sh@taso1718.com
地址：蘇州市吳中區(qū)橫涇街道天鵝蕩路2659號2號廠房
度高：最小間距分辨率高達O.OOlpim
? 800pm\5mm\20mm大量程傳感器，測力小精度高、數(shù)據重復性好
?無導頭式天然鉆石觸針，使用范圍廣，操作更方便
?軟件可自動校正精度、確保儀器在線保持高精度工作狀態(tài)
o8)產品技術規(guī)格 Product specificatiions
|
型號 |
TS-R100 |
|
X軸（橫導） |
lOOmm,直線度=0.8nm/l00mm |
|
測量范圍 zi軸（傳感） |
20mm |
|
Z軸位柱） |
400mm |
|
線性精度 |
W± (0.8+0.2L/100) pm |
|
Zl軸精度 |
W （0.8+|0.2H|/l00） gm； （L=X軸移動導軌距離，H=Zl軸方向測量高度） |
|
測量精度 殘值噪聲 |
W0.005um |
|
示值誤差 |
W±(5nm+0.lA) |
|
重復性 |
W±3% |
|
傳感器 |
光柵傳感器，分辨率0.00l|im |
|
評定長度 |
入 cX3、4、5、6、7
|
相關評論 共0條